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工業(yè)中常見的泄漏檢測(cè)方法有

• 水檢測(cè)試法

• 壓降/壓差測(cè)試法

• 氫氣測(cè)試法 

• 氦氣泄漏測(cè)試

水檢測(cè)試法：

該方法是將充滿氣的部件放入水中，看氣泡出來(lái)。

在泄漏0.06sccm下，每秒在理想的情況下能夠產(chǎn)生一個(gè)泡。現(xiàn)實(shí)當(dāng)中，氣泡不能夠很簡(jiǎn)單的離開元件表面，所以這種檢漏方法一般只能到達(dá)0.6sccm.限制了該方法的工業(yè)應(yīng)用。

壓降/壓差測(cè)試法：

工業(yè)中目前普遍采用的是壓力衰減模式，測(cè)試工件內(nèi)充入規(guī)定的測(cè)試壓力的空氣或者氮?dú)猓?jīng)過(guò)一段時(shí)間的穩(wěn)定，測(cè)試壓力的下降，根據(jù)產(chǎn)品的容積計(jì)算出泄漏流量，計(jì)算公式如下：

壓力泄漏測(cè)試法，有以下因素干擾：

√ 溫度問(wèn)題

√ 不適用于柔性測(cè)試樣本

常壓腔氦或氫累積泄漏檢測(cè)法：

方法是在非真空狀態(tài)下通過(guò)簡(jiǎn)單累積室進(jìn)行的。與空氣測(cè)試不同，INFICON 累積法的測(cè)試結(jié)果不受溫度或濕度的影響，產(chǎn)生極其可靠的測(cè)試結(jié)果，具有很高的可重復(fù)性。

√ 常壓下的檢漏技術(shù)

√ 簡(jiǎn)易、低成本累積腔體

√ 檢漏精度到達(dá)10-5mbar.l/s

真空箱氦泄漏檢測(cè)法：

產(chǎn)品工件充入對(duì)應(yīng)的檢測(cè)壓力，外部腔體抽空，泄漏出來(lái)的氦氣被檢漏儀抓取，檢測(cè)出泄漏量。

氦或氫吸槍泄漏檢測(cè)法：

使用示蹤氣體的方法：吸槍法

• 總是由內(nèi)外

• 遠(yuǎn)距離高速度的高吸氣氣體流量

• 適用于定位漏率點(diǎn)

• 或已知道漏率大概位置

各種方法檢測(cè)精度比較

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